ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие................................................................................................................................. 3
Глава 1. Технические требования и основные параметры контактных
устройств и их элементов ............................................................................................................ 5
1.1. Назначение и область применения контактных устройств .................................................... 5
1.2 Объекты контроля и контролепригодность изделий микроэлектроники и РЭА...................... 7
1.3. Классификация контактных элементов и контактных устройств ........................................ 12
1.4. Основные электрические и конструктивные параметры контактных
устройств и их элементов........................................................................................................... 24
Глава 2. Физические процессы в контактных устройствах ........................................................ 27
2.1. Общие замечания................................................................................................................. 27
2.2. Туннельное просачивание электронов через тонкую диэлектрическую пленку................... 29
2 3. Токи надбарьерной инжекции .............................................................................................32
2.4. Контактная разность потенциалов....................................................................................... 33
2.5. Фриттинг............................................................................................................................. 35
2.5. Эрозия контактных элементов............................................................................................. 37
2.7. Влияние деформационного упрочнения на удельное электрическое
сопротивление чистых металлов и твердых растворов............................................................... 44
2.8. Полное переходное сопротивление...................................................................................... 52
Г л а в а 3. Проектирование и технология изготовления контактных устройств......................... 53
3.1. Варианты типовых конструкций контактных устройств...................................................... 53
3.2. Рекомендации по проектированию и изготовлению типовых контактных устройств.......... 74
3.3. Материалы и технология изготовления контактных устройств и их элементов.................... 83
3.4. Статистические методы оценки отклонений конструктивных параметров контактных устройств и их элементов........................................................................................................... 91
Глава 4. Надежность контактных устройств и методика испытаний .......................................... 96
4.1. Теория надежности применительно к контактным устройствам ......................................... 96
4 2 Вероятностные методы оценки показателей надежности сложных
многоконтактных устройств ...................................................................................................... 99
4.3. Интенсивность отказов контактных устройств.................................................................. 106
4.4. Установление норм на Rпер контактных устройств по данным испытаний
ограниченной выборки ............................................................................................................ 110
4.5. Оценка и прогнозирование показателей надежности контактных устройств .................... 113
4.6. Методика испытаний контактных устройств..................................................................... 115
4.7. Испытательное оборудование и стенды............................................................................. 120
Список литературы.................................................................................................................. 124